林杰

作品数：1被引量：1H指数：1
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在工业应用中日趋重要的微传感器被引量：1
《仪表技术与传感器》1995年第1期8-13,共6页E.Obemeier 林杰 
本文将以几个实例阐明微传感器在近年来的发展以及在工业上的典型应用,文中涉及一个3mbar的微压传感器,一个数字化可编程、有校正功能的1bar集成压力传感器,一个利用热传导原理的微机械气体传感器和一个可测至26GHz的功率传感器。最后...
关键词：微机械技术 气体传感器 功率传感器 微压传感器 
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