段晓峰

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院西安光学精密机械研究所更多>>
发文主题：GAN薄膜氮化镓薄膜溶胶-凝胶法制备溶胶-凝胶更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《光子学报》更多>>
所获基金：博士科研启动基金更多>>
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GaN薄膜的溶胶-凝胶法制备及其表征被引量：1
《光子学报》2009年第1期171-174,共4页王珊珊 王雪文 阎军峰 邓周虎 段晓峰 赵武 张志勇 
西北大学博士科研启动基金(0kydf075)资助
采用溶胶凝胶法成功地制备出氮化镓薄膜.以单质镓为镓源制备镓盐溶液、柠檬酸为络合剂制备出前驱体溶胶,再甩胶于Si(111)衬底上,在氨气氛下热处理制备出GaN薄膜.X射线衍射(XRD)分析及选区衍射分析(SAED)表明所制备的薄膜是六角纤锌矿结...
关键词：氮化镓薄膜 溶胶-凝胶 六角纤锌矿结构 
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