王慧

作品数：2被引量：8H指数：2
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供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
发文主题：高能激光激光能量测量后向散射PLC温度控制更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光子学报》更多>>
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硅片涂胶及软烘自动设备的研制被引量：2
《微计算机信息》2009年第25期77-79,共3页陈丁 徐昌杰 陈大川 张海刚 王慧 
为了提高硅片光刻工艺中—涂胶及软烘两操作的实验效率,减少手工操作可能带来对硅片表面的污染。系统采用机械手代替手工完成硅片在各工位之间自动化传输。硬件部分采用PLC作为控制核心部件,由步进电机、接近开关、光电开关、热电阻、...
关键词：PLC 精确传输 滴胶量控制 温度控制 
高能激光计后向散射能量损失补偿方法研究被引量：6
《光子学报》2009年第5期1052-1057,共6页于洵 王慧 聂亮 刘宝元 
针对锥形腔高能激光计后向散射能量损失补偿问题,系统分析了均匀分布激光入射强漫反射面情况下的锥形吸收腔的后向散射问题,进而针对不同高能量激光的输出光斑形状,建立了锥形吸收腔开口处光功率密度分布和后向散射总功率的数学模型,在...
关键词：高能量激光 激光能量测量 锥形吸收腔 后向散射 
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