苗欣

作品数：1被引量：12H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
发文主题：SOI压力传感器高温压力传感器高温绝缘层上硅更多>>
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无引线封装高温压力传感器被引量：12
《半导体技术》2014年第12期921-925,共5页田雷 尹延昭 苗欣 吴佐飞 
研究的压力敏感芯片利用单晶硅的压阻效应原理制成；采用绝缘层上硅（S01）材料取消了敏感电阻之间的pn结，有效减小了漏电，提高了传感器的稳定性；用多层复合电极替代传统的铝电极，并应用高掺杂点电极技术，提高了传感器使用温度。...
关键词：无引线封装 高温 压力传感器 绝缘层上硅(SOI) 多层金属电极 
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