余涛

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发文主题:织构靶材细晶粒退火更多>>
发文领域:金属学及工艺一般工业技术电气工程医药卫生更多>>
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细晶粒高纯铌管靶材的研制
《铜业工程》2025年第1期9-15,共7页吴孟海 余涛 聂腾飞 张浩 朱芳 张国祥 
国家自然科学基金项目(52363031)资助。
为了得到具有细小均匀组织的铌管靶材,研究了高纯细晶粒铌管靶材的制备新工艺。首先对Φ300 mm的高纯铌锭进行锻造和真空退火,然后经车削和钻孔加工成挤压锭坯,将该锭坯在热穿孔机上将孔径从65 mm扩至95 mm,再次加热后在挤压机上挤压为...
关键词:铌管靶 细晶 穿孔 挤压 织构 
高纯钽靶材的制备及其织构研究
《稀有金属与硬质合金》2025年第1期81-88,共8页吴孟海 余涛 朱芳 冯美兵 杨嘉奇 
根据国内外文献分析了晶粒度和织构对钽靶材溅射产出率的影响,认为晶粒细小且均匀的钽靶材具有较高的溅射产出率。采用高纯钽锭通过大变形锻造并结合轧制和真空退火制备钽靶材,并借助金相显微镜和EBSD技术对钽靶材的微观组织、晶粒度和...
关键词:高纯钽靶材 溅射产出率 大变形锻造 热处理 织构 晶粒度 
穿孔挤压纯铌管靶退火过程研究
《稀有金属与硬质合金》2024年第6期56-62,共7页余涛 吴孟海 张浩 朱芳 汪紫怡 李诗宇 杨圳 
对直径300 mm铌铸锭进行穿孔挤压制得大尺寸铌管靶,随后将其进行不同温度的退火处理。利用差式扫描量热法(DSC)确定退火过程铌管的回复和再结晶温度,并利用背散射电子衍射(EBSD)技术分析挤压及退火后铌管的织构演化过程。结果表明:不同...
关键词:纯铌管靶 挤压 退火 再结晶 织构 变形储存能 
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