吕志辉

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：国防科学技术大学理学院更多>>
发文主题：原子力显微镜真空蒸发沉积真空镀膜更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
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真空沉积法制备InSb纳米颗粒被引量：1
《应用光学》2005年第1期46-48,共3页孙全 何焰兰 吕志辉 黄水花 
采用真空沉积的方法在 Si O2 基片上制备出了纳米 In Sb颗粒薄膜。利用原子力显微镜对 4片样品表面进行分析 ,从其表面形貌图和三维图中可以观察到有粒径均匀的纳米 In Sb颗粒形成并且均匀地分布在 Si O2 基片表面。实验表明 ,通过改变...
关键词：纳米InSb颗粒 真空蒸发沉积 原子力显微镜 
InSb纳米颗粒的制备与原子力显微镜被引量：1
《国防科技大学学报》2004年第2期17-20,共4页何焰兰 孙全 吕志辉 
国防科技大学预研基金项目
为进一步研究半导体纳米材料的物理特性,用真空沉积的方法在SiO2基片上制备了纳米InSb颗粒膜。用原子力显微镜扫描样品表面的分析显示,纳米InSb颗粒均匀地分布在SiO2基片表面。实验结果表明通过改变镀膜时间,可以得到具有不同颗粒尺寸的...
关键词：纳米InSb颗粒 真空蒸发沉积 原子力显微镜 
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