孙德明

作品数：1被引量：2H指数：1
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熔性/亚熔性激光退火工艺过程数值分析被引量：2
《微电子学》2015年第1期125-129,135,共6页王浩 严利人 周伟 孙德明 王全 张伟 
国家科技重大专项课题资助项目(2011ZX02503-004)
熔性/亚熔性激光退火在IGBT类电力电子器件制造中有着重要的作用。该工艺涉及瞬间、局部、高强度的能量馈入冲击,材料在升温段涉及固态至亚熔或局部熔化状态的相变,在随后降温段的退火,还有离子注入杂质在此短暂过程中的激活和扩散再分...
关键词：激光退火 热场分析 杂质再扩散 
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