孙德明

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供职机构:复旦大学材料科学系更多>>
发文主题:二极管湿敏传感器OPT/TIO2肖特基势垒更多>>
发文领域:电子电信更多>>
发文期刊:《Journal of Semiconductors》《半导体技术》更多>>
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Pt/TiO_2二极管湿敏传感器
《Journal of Semiconductors》1999年第3期200-205,共6页孙德明 肖梦秋 汪荣昌 戎瑞芬 
Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触 .在常温下 ,Pt/ Ti O2 界面处的电子电导对 Pt/ Ti O2 肖特基势垒高度的变化非常敏感 .本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能 ,并讨论了因水在 Pt/ Ti O2 界面处的化学吸附 ,引起表...
关键词:半导体湿敏器件 二极管 湿敏传感器 
Pt/TiO2二极管湿敏传感器
《半导体技术》1998年第5期29-32,42,共5页孙德明 肖梦秋 汪荣昌 戎瑞芬 
Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下,Pt/TiO2界面处的电子电导对Pt/TiO2肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能,并讨论了因水在Pt/TiO2界面处的化学...
关键词:湿敏传感器 肖特基势垒 半导体湿敏器件 
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