肖梦秋

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
发文主题：二极管湿敏传感器MOCVDTIO_2薄膜伏安特性更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》《传感技术学报》《半导体技术》更多>>
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TiO_2薄膜敏感特性研究被引量：2
《传感技术学报》1999年第3期164-170,共7页肖梦秋 汪荣昌 顾志光 戎瑞芬 
利用 ＭＯＣＶＤ工艺可制备得到锐钛矿型ＴｉＯ２薄膜，在其上溅射金属 Ｐｔ并控制工艺流程的温度，Ｐｔ／ＴｉＯ２间将形成良好的金半整流接触．该Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基二极管在常温下表现出良好的气敏特性，响应时间短，对稳定环境中...
关键词：肖特基二极管 MOCVD TIO2 伏安特性 
Pt/TiO_2二极管湿敏传感器
《Journal of Semiconductors》1999年第3期200-205,共6页孙德明 肖梦秋 汪荣昌 戎瑞芬 
Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触 .在常温下 ,Pt/ Ti O2 界面处的电子电导对 Pt/ Ti O2 肖特基势垒高度的变化非常敏感 .本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能 ,并讨论了因水在 Pt/ Ti O2 界面处的化学吸附 ,引起表...
关键词：半导体湿敏器件 二极管 湿敏传感器 
Pt/TiO2二极管湿敏传感器
《半导体技术》1998年第5期29-32,42,共5页孙德明 肖梦秋 汪荣昌 戎瑞芬 
Ｐｔ常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下，Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的电子电导对Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能，并讨论了因水在Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的化学...
关键词：湿敏传感器 肖特基势垒 半导体湿敏器件 
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