张丽平

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：南开大学更多>>
发文主题：光敏性太阳电池VHF-PECVD硅基薄膜锗烷更多>>
发文领域：电气工程理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《物理学报》《人工晶体学报》《光电子．激光》更多>>
所获基金：天津市应用基础与前沿技术研究计划国家重点基础研究发展计划国际科技合作与交流专项项目国家高技术研究发展计划更多>>
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VHF-PECVD法制备μc-SiGe薄膜的研究被引量：2
《光电子．激光》2011年第3期382-386,共5页敦亚琳 张建军 张丽平 张鑫 曹宇 郝秋艳 耿新华 赵颖 
国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA05Z422);国家重点基础研究发展规划“973”资助项目(2006CB202602,2006CB202603);天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(08JCZDJC22200)
分别以Si2H6和GeH4及SiH4和GeH4两种组合气体为源气体,用甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)制备μc-SiGe薄膜,用Raman散射光谱和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构进行研究。结果表明:与SiH4和GeH4制备的薄膜系列相比,Si2H6和GeH4...
关键词：μc-SiGe薄膜 甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD) RAMAN光谱 原子力显微镜(AFM) 
衬底温度对氢化微晶硅锗薄膜生长的影响被引量：5
《人工晶体学报》2009年第4期831-835,共5页张丽平 张建军 张鑫 孙建 赵颖 
国家高技术研究发展计划(No.2009AA05Z422);天津市应用基础及前沿技术研究计划(No.08JCZDJC22200);科技部基础研究973项目(No.2006CB202602No.2006CB202603)
采用VHF-PECVD技术在玻璃衬底上沉积微晶硅锗薄膜。研究了衬底温度对微晶硅锗薄膜的微结构和光电特性的影响。结果表明:随着衬底温度的升高,微晶硅锗薄膜的生长速率减小,(220)晶向强度增强;而同一衬底温度下,锗浓度的增加将抑制薄膜(220...
关键词：氢化微晶硅锗薄膜 衬底温度 光、暗电导率 
H2,He混合稀释生长微晶硅锗薄膜
《物理学报》2008年第11期7338-7343,共6页张丽平 张建军 张鑫 尚泽仁 胡增鑫 张亚萍 耿新华 赵颖 
科技部基础研究973项目(批准号:2006CB202602,2006CB202603);科技部国际合作项目(批准号:2006DFA62390);天津市应用基础及前沿技术研究计划(批准号:08JCZDJC22200);国家科技计划配套项目(批准号:07QTPTJC29500)资助的课题~~
采用H2,He混合气体稀释等离子辅助反应热化学气相沉积法生长微晶硅锗薄膜,并在生长过程中对等离子体进行光发射光谱在线监测.结果表明:混合气体稀释法可以有效提高等离子体中的原子氢数目,降低等离子体中的电子温度;用XRD和光暗电导率...
关键词：化学气相沉积 微晶硅锗薄膜 光发射光谱 X射线衍射 
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