张立平

作品数:2被引量:4H指数:1
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供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题:纳米多层薄膜摩擦学性能磁控溅射CRAG更多>>
发文领域:机械工程更多>>
发文期刊:《摩擦学学报(中英文)》更多>>
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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响
《摩擦学学报》2013年第1期29-35,共7页胡明 高晓明 张立平 伏彦龙 杨军 翁立军 刘维民 
采用中频磁控溅射技术在3种偏压条件下(0、-80、-300V)于AISI 440C钢及单晶Si(100)基体表面制备了ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜.通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了各纳米多层薄膜微观组织结构,并通过纳米压入仪与真空球-盘摩擦试...
关键词:ZRN α-SiNx纳米多层薄膜 基体偏压 微观结构 机械及摩擦学性能 
Cr/Ag纳米多层薄膜膜-基结合强度及摩擦学性能研究被引量:4
《摩擦学学报》2012年第6期544-549,共6页胡明 张立平 高晓明 伏彦龙 杨军 翁立军 
采用中频磁控溅射技术在AISI 440C钢表面制备了不同调制周期的Cr/Ag纳米多层薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)及高分辨透射电子显微镜(HRTEM)分析表征了纳米多层薄膜的微观组织结构,通过划痕试验机与真空球-盘摩擦试验机分别测试了纳米多层薄...
关键词:磁控溅射 CR Ag纳米多层薄膜 膜-基结合强度 摩擦学性能 
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