徐文彬

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发文主题：存储器底电极氧空位遮蔽导电丝更多>>
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组合工艺提高ZrO_(2)薄膜阻变的稳定性研究
《集美大学学报（自然科学版）》2024年第6期556-561,共6页徐文彬 任高潮 
福建省自然科学基金项目“基于组合工艺调控氧空位分布的氧化钛阻变存储器研究”(2019J01717)。
提出纳米屏蔽阵和氧气等离子处理相结合的组合工艺,用于提高ZrO 2薄膜阻变稳定性。纳米屏蔽阵通过气相沉积法制备,再利用屏蔽阵的间隙约束作用对阻变层进行选择性氧气等离子处理,使阻变薄膜中出现高/低结晶区交替分布的特征,导电细丝受...
关键词：纳米屏蔽阵 等离子处理 阻变 ZrO_(2) 稳定性 
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