任高潮

作品数：18被引量：44H指数：4
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供职机构：浙江大学信息与电子工程学系更多>>
发文主题：溅射磁控溅射靶材靶面充气器更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>
发文期刊：《材料研究学报》《中国有色金属学报》《集美大学学报（自然科学版）》《真空电子技术》更多>>
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组合工艺提高ZrO_(2)薄膜阻变的稳定性研究
《集美大学学报（自然科学版）》2024年第6期556-561,共6页徐文彬 任高潮 
福建省自然科学基金项目“基于组合工艺调控氧空位分布的氧化钛阻变存储器研究”(2019J01717)。
提出纳米屏蔽阵和氧气等离子处理相结合的组合工艺,用于提高ZrO 2薄膜阻变稳定性。纳米屏蔽阵通过气相沉积法制备,再利用屏蔽阵的间隙约束作用对阻变层进行选择性氧气等离子处理,使阻变薄膜中出现高/低结晶区交替分布的特征,导电细丝受...
关键词：纳米屏蔽阵 等离子处理 阻变 ZrO_(2) 稳定性 
基于氩等离子处理的阻变氧空位调控探讨
《集美大学学报（自然科学版）》2019年第5期387-392,共6页徐文彬 任高潮 
福建省教育厅基金项目(JAT170323);福建省自然科学基金项目(2019J01717)
以氩气等离子处理为优化工艺,通过其对ZnO阻变薄膜中氧空位缺陷的影响,来改进ZnO薄膜阻变特性。等离子处理范围减小和处理时间延长有助于阻变特性的稳定,以及阻变工作电压的降低。为了降低阻变工作电压及抑制随机性,最终确定的等离子处...
关键词：氧空位 等离子 阻变 ZNO 无电形成 
氧气等离子处理对MIM结构ZrAlO薄膜电容性能的影响
《电子元件与材料》2017年第4期60-63,共4页徐文彬 任高潮 
福建省自然科学基金资助项目(No.2010J05136);福建省教育厅基金资助项目(No.JA11158)
探讨了氧气等离子处理法对基于Zr Al O薄膜的MIM结构电容电学性能的低温工艺优化。Zr Al O薄膜用射频磁控溅射法制得,之后在不改变真空条件的情况下进行Zr Al O薄膜的氧气等离子处理。氧空位是影响薄膜电容性能的主要因素,通过改变氧气...
关键词：MIM电容 氧空位 ZrAlO 等离子 溅射 漏电流 
氧空位对ZrSiO基MIM结构电容电学性能的影响被引量：2
《集美大学学报（自然科学版）》2013年第2期157-160,共4页徐文彬 任高潮 
福建省自然科学基金资助项目(2010J05136);福建省教育厅基金资助项目(JA11158)
研究了磁控溅射法制备得到的MIM结构ZrSiO薄膜电容,ZrSiO薄膜的制备以沉积时和沉积后退火过程中的氧气流量为主要工艺参数,重点讨论了由不同工艺条件导致的不同氧空位密度对漏电特性和电容-电压非线性等电学性能的影响.
关键词：氧空位 MIM电容 ZrSiO 
晶振电极激光减薄调频技术的研究被引量：2
《真空科学与技术学报》2010年第4期425-429,共5页李强 王德苗 金浩 任高潮 董树荣 
石英晶振的谐振频率在出厂前都需要进行微调,使之达到需要的标称值。本文提出激光调频的新技术,利用适当激光能量使电极膜层汽化减薄,从而使晶振的频率精确升高到预期值,重点研究了激光器的工作电流和Q脉冲宽度等参数对晶振频率微调的...
关键词：石英晶振 激光调频 谐振频率 Q脉冲宽度 
磁控溅射抗EMI金属膜的研究
《真空》2008年第3期40-43,共4页陈省区 王德苗 赵欢畅 任高潮 
首先对金属屏蔽的机理以及Schelkunoff电磁屏蔽理论进行了分析,然后采用磁控溅射的方法在PET塑料上沉积了Cu/1Cr18Ni9Ti,并采用波导的方法对样品的屏蔽效能进行了测试。研究表明:单次反射损耗对屏蔽效能的贡献最大,双面金属膜层比单面...
关键词：电磁屏蔽 磁控溅射 屏蔽效能 塑料基底 
关于真空激光减薄薄膜技术的研究被引量：2
《真空科学与技术学报》2008年第S1期93-97,共5页邵净羽 王德苗 任高潮 
本文提出了一种新颖的可精确、快速、清洁的减薄薄膜的技术——真空激光减薄技术。即指利用激光器发出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑,调节到适当的能量密度,对真空环境中的薄膜层进行高速扫描,从而减薄膜层。实验中,将此种技术对石...
关键词：激光 减薄 薄膜 石英晶体谐振器 
在塑料表面用磁控溅射制备电磁屏蔽膜的研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2008年第S1期98-101,共4页陈省区 王德苗 赵欢畅 苏达 任高潮 
随着电磁污染的日益严重以及塑料在电子产品封装上的广泛应用,对电子产品进行电磁屏蔽设计已成为必然趋势。本文采用磁控溅射的方法在PET塑料基底上沉积多种膜系的金属屏蔽膜层,并对金属膜层的制备工艺进行了研究,最后采用波导法对金属...
关键词：磁控溅射 屏蔽效能 电磁屏蔽 塑料金属化 
氧化铝陶瓷金属化技术的研究进展被引量：9
《真空电子技术》2007年第5期41-43,47,共4页马元远 王德苗 任高潮 
综述了Al2O3陶瓷金属化技术的国内外研究现状与进展,简要介绍了目前主要应用的几种金属化方法,并着重分析了真空溅射镀膜金属化技术中薄膜材料、膜层厚度以及工艺参数对金属化质量的影响。
关键词：AL2O3陶瓷 金属化 真空溅射 
铁氧体磁芯的磁控溅射金属化工艺的研究被引量：6
《真空科学与技术学报》2006年第z1期87-90,共4页王德苗 董树荣 任高潮 
国家自然科学基金(No.50172042)
铁氧体贴片电感要求金属化薄膜具有高的抗拉强度和高温焊接性,传统金属化工艺不能满足要求.本文采用磁控溅射技术对铁氧体电感磁芯进行金属化,研究了不同金属膜系以及不同工艺对薄膜抗拉强度和高温焊接性能的影响,结果表明:磁控溅射金...
关键词：铁氧体 金属化 磁控溅射 结合力 焊接性 
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