马元远

作品数：3被引量：32H指数：3
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供职机构：浙江大学信息与电子工程学系更多>>
发文主题：铁氧体金属化磁控溅射工艺参金属化薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术化学工程电气工程更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空》《真空电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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工艺参数对磁控溅射金属化薄膜性能的影响被引量：19
《真空》2008年第4期70-74,共5页马元远 王德苗 金浩 郑建潮 
国家自然科学基金(No.50172042)
溅射金属化技术不仅环保,而且工艺过程简单,金属化质量高,将成为未来金属化工艺的主要发展方向。本文采用真空溅射技术在镍锌铁氧体表面制备了Cr(150nm)/Ni-Cu(460nm)/Ag(200nm)结构的金属化复合薄膜,从理论和实验上研究分析了溅射工艺...
关键词：铁氧体 磁控溅射 金属化 
铁氧体表面无铅焊接薄膜的磁控溅射制备研究被引量：5
《真空科学与技术学报》2008年第4期341-345,共5页金浩 马元远 王德苗 
国家自然科学基金(No.50172042)
随着环保要求的不断提高,特别是2006年欧盟新环保指令禁止电子产品含有铅、六价铬等重金属,铁氧体以往的电镀焊接薄膜将被明确禁止。本文采用磁控溅射技术在铁氧体表面制备无铅焊接复合薄膜,从理论和实验上研究分析了薄膜的结构、厚度...
关键词：铁氧体 磁控溅射 无铅焊接薄膜 
氧化铝陶瓷金属化技术的研究进展被引量：9
《真空电子技术》2007年第5期41-43,47,共4页马元远 王德苗 任高潮 
综述了Al2O3陶瓷金属化技术的国内外研究现状与进展,简要介绍了目前主要应用的几种金属化方法,并着重分析了真空溅射镀膜金属化技术中薄膜材料、膜层厚度以及工艺参数对金属化质量的影响。
关键词：AL2O3陶瓷 金属化 真空溅射 
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