石英晶体谐振器

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三种石英晶体谐振器频率测试方法对比分析研究
《电子技术应用》2024年第5期30-34,共5页蔡光跃 刘晓辉 翟红国 
测试石英晶体谐振器频率的传统方法有间接计算法、信号源起振法和网络分析仪法,三种方法各有大的缺陷。根据石英晶体谐振器频率的特点,提出三种新的测试方法:示波器测试法、频率计测试法和频谱仪测试法。这三种方法在基本测试原理、设...
关键词：石英晶体谐振器 频率测试 对比分析 示波器 频率计 频谱分析仪 
带有阶梯沟槽结构音叉型石英晶体谐振器设计研究
《传感器与微系统》2024年第1期33-35,共3页杨梅 李辉 邓慧 李强林 
四川省科技厅重点研发资助项目(2022YFS0504)。
为了解决表面贴装器件(SMD)型压电石英音叉晶体的振动阻抗过大的问题,提出了一种带有阶梯沟槽结构的Z切压电石英音叉晶体谐振器。首先,从振动原理上结合压电石英晶体各向异性材料因腐蚀工艺导致结构的不对称性解释阻抗过大的机理;然后,...
关键词：阶梯沟槽 面内弯曲 对称振动 阻抗 
高温环境下AT切石英谐振器振动特性分析
《计测技术》2023年第5期76-82,共7页温连鹏 崔健敏 冯俊一 刘曦 王国华 聂晶 
国家“十四五”计量技术基础科研项目(JSJL2022601A001)。
为了研究AT切型石英晶体谐振器在不同温度环境下的振动状态,利用有限元仿真软件COMSOL Multiphysics 6.0分析了石英晶体在不同温度下沿x方向振动位移分布情况,直观地观察了寄生模态的振动位移,计算了不同温度下电极区能量占比以及品质因...
关键词：振动特性 AT切型 石英晶体谐振器 高温 COMSOL 
电感耦合等离子刻蚀法加工石英晶体谐振器工艺研究
《硅酸盐通报》2023年第9期3395-3401,共7页陈静白 张新海 刘峰 
东莞市重点领域研发项目(20201200300112)。
为了制备石英晶体谐振器,在石英衬底上采用光刻和电感耦合等离子刻蚀技术制备台阶形貌,研究了制备过程中激励电源功率、偏压电源功率以及导热物质等工艺参数对刻蚀效果的影响。并且利用扫描电子显微镜对刻蚀图形的表面形貌进行了观察,...
关键词：石英晶体 光刻 电感耦合等离子刻蚀 工艺参数 台阶刻蚀 
石英晶体谐振器智能化制造技术探究
《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2023年第6期108-111,共4页刘搏 
在传统的石英晶体谐振器制造过程中,人工操作和传统设备使用占据主导地位。然而,随着智能制造技术的兴起,智能化制造正在逐渐成为石英晶体谐振器制造的新趋势。智能化制造通过引入自动化、大数据分析和人工智能等技术,实现生产过程的高...
关键词：石英晶体谐振器 智能化 制造技术 
微型石英晶体谐振器电极激光加工温度场仿真分析被引量：1
《机械工程与自动化》2021年第3期26-28,32,共4页方豹 辜志强 吴彦霖 李刚炎 
湖北省高新技术产业发展专项(1440)。
以石英晶体谐振器电极银层的激光刻蚀调频加工过程为研究对象,综合考虑了被加工材料的热物理参数和相应边界条件,利用ANSYS有限元软件仿真模拟了脉冲激光刻蚀加工过程中谐振器电极银层温度场分布情况,分析了不同激光加工工艺参数对材料...
关键词：石英晶体谐振器 温度场仿真 激光加工 
基于磁控溅射的石英谐振器升频微调技术
《压电与声光》2021年第2期248-253,共6页杨秀涛 张骏淋 周彪 王文武 曾广根 
四川大学-泸州市人民政府战略合作基金资助项目(2019CDLZ-15);2020年四川大学实验技术基金资助项目(重点项目2020-8);四川省人社厅留学回国人员科技活动基金资助项目(201814502);四川省2018-2020年高等教育人才培养质量和教学改革基金资助项目(JG2018-44);中央高校基本科研业务费专项基金资助项目。
石英晶体谐振器(QCR)是现代电子行业领域中一种不可缺少的电子元器件。通过计算并沉积不同形状及厚度的电极在具有某一基准频率的石英晶片上,即可得到所需目标频率。受镀膜设备、掩膜板、晶体尺寸及镀膜位置等因素的影响,很难精确地一...
关键词：电极 磁控溅射 升频微调 石英晶体谐振器 
热冲击对石英晶体谐振器稳定性的影响研究
《压电与声光》2020年第5期607-610,共4页尹小三 徐俊俊 
宁波市科技创新2025重大专项基金资助项目(2019B10122)。
分析并研究了瞬时热冲击之一的回流焊对石英晶体谐振器频率稳定性的影响,综合已有研究经验和回流焊后频率的可恢复性,推断薄膜应力是回流焊后频率稳定性的主要影响因子。通过试验发现,薄膜溅射功率降至200 W或薄膜热退火温度升至350℃...
关键词：石英晶体谐振器 热冲击 回流焊 频率稳定性 薄膜应力 影响机理 
石英晶体谐振器上架点胶工艺质量提升研究被引量：1
《中国航天》2020年第S01期77-82,共6页王巍丹 崔巍 王莉 郑文强 段友峰 
上架点胶工序是石英晶体谐振器生产过程中的薄弱环节,主要失效模式为导电胶粘接不牢。本文对该失效模式的原因和质量影响因素进行了分析,并制定了有针对性的质量提升方案,在优化支架清洗和导电胶搅拌工艺的同时,增加了质量提升固化措施...
关键词：石英晶体谐振器 上架点胶 质量提升 
基于六电极石英晶体谐振器的姿态检测转换结构设计被引量：2
《传感器与微系统》2019年第10期61-63,共3页佟盟 田文杰 陈福彬 冯洁 
北京市自然科学基金重点资助项目(KZ201511232037);现代控制技术教育部重点实验室(北京信息科技大学)基金项目
根据石英晶体压电效应及各向异性的特点,基于Comsol Multiphysics软件进行有限元仿真分析得到径向力作用时AT切石英晶体薄圆片内各点的应力分布特点。通过应力分布特点设计制作了在同一晶片上的集成式六电极石英谐振器,并基于此谐振器...
关键词：石英晶体 有限元分析 应力分布 姿态检测 转换结构 
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