李宇恒

作品数：2被引量：9H指数：1
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供职机构：广东工业大学更多>>
发文主题：ZRN高温抗氧化性能稀土ZRNI更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《工具技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金广东省教育厅自然科学基金更多>>
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ZrN系列薄膜的研究进展被引量：8
《工具技术》2007年第7期7-12,共6页李宇恒 胡社军 曾鹏 吴健 
综述了近年来ZrN系列薄膜的研究现状,描述了ZrN薄膜的重要性质,介绍了以ZrN薄膜为基础的多层膜和复合膜的研究状况,分析了制备方法及工艺条件对薄膜的影响,并展望了ZrN薄膜未来的研究方向。
关键词：ZRN 薄膜 多层 复合 
离子束辅助真空电弧沉积Zr—Ni—N薄膜的研究被引量：1
《工具技术》2006年第12期15-17,共3页吴健 胡社军 曾鹏 李宇恒 谢光荣 
国家自然科学基金资助项目(项目编号:50271019);广东省教育厅自然科学研究项目(项目编号:020075)
采用多弧离子镀技术在高速钢和单晶硅基体上制备Zr-Ni-N复合薄膜,研究了低能氮离子束对Zr-Ni-N涂层结构、表面形貌和硬度的影响。研究表明:用低能氮离子束辅助真空电弧沉积Zr-Ni-N膜,ZrN结构在(111)晶面出现一定的择优取向,并对Zr-Ni-N...
关键词：离子束 真空多弧离子镀 Zr-Ni-N薄膜 
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