云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 李文兵

李文兵: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>; 发文主题：空气隙波长可调谐干法刻蚀悬臂结构分子束外延更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《微细加工技术》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>

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利用C_6H_8O_7/H_2O_2溶液对Al_xGa_(1-x)As/GaAs的选择性腐蚀制作空气腔结构的研究: 《微细加工技术》2007年第6期57-61,共5页李文兵韩勤杨晓红杜云朱彬倪海乔; 国家自然科学基金资助项目(60376025);973国家重点基础研究发展计划资助项目(2006CB302802); 针对MEMS(micro-electro-mechanical system)工艺中牺牲层的选择性腐蚀问题,提出了一种判断牺牲层是否完全腐蚀的新方法,解决了这一工艺难点。测定了C6H8O7/H2O2溶液对GaAs的腐蚀速率,并采用这种方法选择性腐蚀了一个带有GaAs牺牲层的DB...; 关键词：选择性腐蚀 GaAs牺牲层 MEMS