李晖

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：上海交通大学理学院太阳能研究所更多>>
发文主题：氧化锌薄膜蓝移电阻率电学特性更多>>
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低温沉积氧化锌薄膜电学特性被引量：2
《太阳能学报》2009年第10期1323-1326,共4页孟凡英 吕肖前 李晖 胡宇 施旸 余跃波 江民林 
利用金属有机物化学气相沉积系统在玻璃衬底上沉积氧化锌薄膜,在约160℃的低温生长条件下,通过改变n型掺杂气体硼烷的流量来调制薄膜电阻率和光学透过率。基于Hall效应测试分析,研究了掺杂剂硼烷流速对氧化锌薄膜电阻率,载流子浓度,Hal...
关键词：低温沉积 氧化锌薄膜 电阻率 蓝移 
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