温晓军

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：大连理工大学物理学院更多>>
发文主题：ECR离子输运微波等离子体输运过程等离子体源更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
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圆柱模型下电子回旋共振微波等离子体离子输运过程的数值研究被引量：2
《物理学报》1997年第12期2376-2383,共8页宫野 温晓军 张鹏云 邓新绿 
国家自然科学基金
在圆柱模型下，采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法模拟了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区以及工件表面二次电子发射形成的虚拟阴极“屏蔽区”，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程．研究了鞘...
关键词：等离子体源 数值 ECR 微波等离子体 离子输运 
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