潘喜诚

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:湛江师范学院物理科学与技术学院更多>>
发文主题:SNO2薄膜SNO热氧化法蒸发英文更多>>
发文领域:一般工业技术更多>>
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二步热氧化法制备SnO_2薄膜的特性(英文)被引量:1
《功能材料与器件学报》2009年第4期370-374,共5页李栋宇 刘贵昂 潘喜诚 邵乐喜 
Guangdong Province Nature Science Foundation(No.31927);Zhanjiang Normal University Nature Science Foundation(NO.QL0703)
采用二步热氧化法制备SnO2薄膜。首先把真空蒸发法制备的金属锡膜在低于锡熔点的氧气气流中氧化半小时,然后提高氧化温度至400-550℃,继续氧化2小时。通过XRD,SEM和UV-VIS光谱仪分析氧化温度对薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性质的影响...
关键词:SNO2薄膜 热氧化法 蒸发 
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