熊孝东

作品数：4被引量：10H指数：2
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供职机构：西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室更多>>
发文主题：占空比纳米压印压印抗蚀剂测试仪更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《中国机械工程》《高分子材料科学与工程》《浙江大学学报（工学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金长江学者和创新团队发展计划高等学校全国优秀博士学位论文作者专项资金更多>>
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纳米压印模具及膜厚对抗蚀剂填充特性的影响
《浙江大学学报（工学版）》2012年第7期1175-1181,共7页杜军 魏正英 熊孝东 何威 唐一平 
国家自然科学基金资助项目(50975227);全国博士学位论文作者专项资金资助项目(200740)
为了揭示模具深宽比、膜厚对抗蚀剂填充特性的影响规律,采用计算流体动力学方法对紫外纳米压印过程进行计算.计算模型考虑了表面张力、接触角等因素,计算分析不同模具凹槽深宽比、抗蚀剂初始膜厚时对应的抗蚀剂填充形貌.通过分析发现,...
关键词：纳米压印 填充特性 深宽比 初始膜厚 
纳米压印中聚合物界面行为的分子动力学被引量：4
《高分子材料科学与工程》2011年第6期186-190,共5页熊孝东 魏正英 杜军 丁玉成 
国家自然科学基金资助项目(50975227);全国博士学位论文作者专项资金(200740);国家自然基金重大研究计划(90923040);长江学者和创新团队发展计划(IRT0646)资助
在纳米压印中,模具和聚合物之间的相互作用能对(?)特征的图型转移质量有着重要影响,文中利用分子动力学分别选择聚二甲基硅氧(PDMS),聚乙烯(PE),聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)研究了他们和模具壁面之间在不同距离时,壁面和聚合物之间相互作用...
关键词：纳米压印 分子动力学 聚合物 吸附 相互作用能 
常温微压印中抗蚀剂流动的研究及工艺优化被引量：4
《光学精密工程》2010年第8期1822-1832,共11页魏正英 熊孝东 杜军 丁玉成 
国家自然科学基金资助项目(No.50975227);国家自然基金重大研究计划资助项目(No.90923040);全国博士学位论文作者专项资金资助项目(No.200740);长江学者和创新团队发展计划资助项目(No.IRT0646)
为提高微压印中抗蚀剂的复型精度,利用POLYFLOW,基于流固耦合方法对常温压印过程中抗蚀剂的流动进行了有限元模拟,系统地分析了抗蚀剂的初始厚度,留膜厚度,模具的深宽比,占空比,模具下压速度等因素对抗蚀剂流动填充的影响规律。搭建了...
关键词：常温微压印 填充饱和度 占空比 可视化实验 优化 
微压印过程中抗蚀剂流动分析被引量：2
《中国机械工程》2010年第4期463-469,共7页温聚英 魏正英 熊孝东 杜军 卢秉恒 
国家自然科学基金资助项目(50675172);高等学校全国优秀博士学位论文作者专项资金资助项目(200740);长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT0646)
为研究微压印过程中低黏度抗蚀剂流动状态对微压印成形精度的影响,对常温压印过程中抗蚀剂流动进行了有限元分析,系统研究了不同结构的模板占空比、宽厚比等压印工艺条件对抗蚀剂填充的影响,以及抗蚀剂流动对软模具的变形影响,得到了单...
关键词：微压印 抗蚀剂流动 占空比 单双峰 宽厚比 
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