王伟华

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：浙江大学更多>>
发文主题：银膜层透明导电氧化物薄膜透明导电薄膜磁控溅射更多>>
发文领域：理学自动化与计算机技术交通运输工程机械工程更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
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在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2009年第4期431-434,共4页苏达 王德苗 王伟华 
显示技术正朝着柔性化、超薄化方向发展,低温制备柔性ITO薄膜已经成为一大趋势。本文在射频磁控溅射过程中,引入在线紫外辐照,室温条件下在有机衬底上制备柔性ITO薄膜的工艺,其最低方块电阻为5Ω,电阻率为2.5×10-4Ω.cm,透光率为92%,...
关键词：柔性ITO 磁控溅射 在线紫外辐照 光电性能 
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