云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 王凯杰

王凯杰: 作品数：1被引量：2H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：南开大学更多>>; 发文主题：硅基薄膜VHF-PECVD磁控溅射沉积速率A-SI:H更多>>; 发文领域：电气工程电子电信更多>>; 发文期刊：《太阳能学报》更多>>; 所获基金：天津市自然科学基金天津市科技发展战略研究计划项目国家重点基础研究发展计划更多>>

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用VHF-PECVD技术研制大面积均匀硅基薄膜被引量：2: 《太阳能学报》2007年第11期1227-1232,共6页薛俊明侯国付王凯杰孙建任慧志张德坤赵颖耿新华; 国家重点基础研究发展规划"973"(No.2006CB202602;2006CB202603);天津市科技发展计划项目(06YFGZGX02100);天津市自然科学基金项目(No.043604911); 首先对电极表面VHF频段电场分布进行了详细的物理分析,认为当激发频率在VHF频段时驻波和损耗波对电场均匀性分布影响很大,而通过选择不同的电源馈入方式可减小其影响。采用中心馈入法,对馈线和电极的连接方式进行了仔细研究,然后就工作...; 关键词：VHF-PECVD 硅基薄膜大面积均匀性电源馈入方式