王锋

作品数：3被引量：5H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
发文主题：多晶硅半导体设备多晶定向凝固铸锭更多>>
发文领域：电子电信经济管理化学工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》《真空》《轻工科技》更多>>
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多晶硅铸锭工艺的优化与分析被引量：3
《电子工业专用设备》2015年第7期11-12,32,共3页王锋 张桂芸 周社柱 
多晶硅铸锭生长过程的微晶、位错、隐裂等缺陷严重影响铸锭得料率,通过对多晶硅铸锭过程的研究,分析了控温偶温度、隔热笼提升高度对铸锭工艺的影响。结果表明,对控温偶温度及隔热笼提升高度的优化可以明显消除微晶,改善位错、隐裂等缺...
关键词：半导体设备 多晶铸锭 定向凝固 优化工艺 
多晶硅铸锭炉扩容后的安全性分析及安全措施研究
《真空》2015年第4期36-41,共6页周社柱 王锋 张桂芸 王成君 冯宏亮 
本文针对目前主流的多晶硅铸锭炉装炉量与设备安全性进行分析,通过强度变形量计算及热力学分析与目前的各种安全措施进行比较,从而提出比较理想的安全改进措施。
关键词：装炉量 安全系数 溢流 热量 冷却凝固 紧急泄压 
六西格玛管理在多晶硅块生产中的应用被引量：2
《轻工科技》2015年第5期124-127,共4页张桂芸 庄园 周社柱 王锋 
对于国内企业来说,研究六西格玛管理方法及应用并且探讨如何有效地实施六西格玛是一个越来越重要的问题。从六西格玛理论着手,应用Minitab软件,结合光伏产业实际案例,清晰地将六西格玛管理中分析问题、解决问题的方法以及所用到的质量...
关键词：六西格玛 多晶硅 Minitab 质量改进 
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