谢伦

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>
发文主题：衬底材料表面粗糙度GAN氮化镓晶体更多>>
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GaN 用衬底材料 LiGaO_2 晶体超精密抛光的初步实验被引量：3
《光学精密工程》1997年第5期57-62,共6页谢伦 高宏刚 陈斌 曹健林 王建明 刘琳 
主要介绍了作为发光半导体ＧａＮ衬底材料的ＬｉＧａＯ２单晶超精密抛光方法及初步结果。利用聚氨酯抛光盘配合ＳｉＯ２悬浮液，采用机械化学抛光方法，已加工出表面粗糙度优于０．１ｍｍ，的超光滑表面。
关键词：超精密抛光 表面粗糙度 LiGaO2 晶体 氮化镓 
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