赵强

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)更多>>
发文主题:DLCSIC附着力氟化类金刚石薄膜红外光谱更多>>
发文领域:理学更多>>
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SiC过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性的影响被引量:3
《物理学报》2013年第1期293-298,共6页潘越 赵强 江舸 周杨 江美福 杨亦赏 
采用射频反应磁控溅射法在316L不锈钢基片上分别沉积了两种薄膜:一种是氟化类金刚石薄膜(F-DLC),另一种是先镀上一定厚度的SiC过渡层再沉积F-DLC.着重研究了薄膜的附着力随过渡层制备条件的变化规律.结果显示,增加SiC过渡层后薄膜的附...
关键词:F-DLC SiC过渡层 红外光谱 附着力 
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