陈充林

作品数：4被引量：5H指数：2
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供职机构：德克萨斯大学更多>>
发文主题：电解质薄膜高K栅介质MOSFETCVDPVD更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《电子显微学报》《功能材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金辽宁省博士科研启动基金更多>>
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LaAlO_3基体上CaBaCo_2O_(5+δ)多晶薄膜的微观结构以及生长方式
《功能材料》2014年第17期17050-17053,共4页李骏驰 陈江华 丁莹 马春蕊 陈充林 方靖岳 张学骜 
国家自然科学基金资助项目(51301064;51371081)
采用脉冲激光沉积方法,在（001）LaAlO3上沉积CaBaCo2O5＋δ多晶薄膜,用X射线衍射（XRD）和透射电子显微镜（TEM）对基体和薄膜的微观结构进行观察,并探讨了薄膜的生长机制以及改善薄膜质量的可能工艺。结果表明,（1）LaAlO3基体中存在...
关键词：多晶薄膜 微观结构 薄膜生长方式 
钛酸钡/钛酸锶多层薄膜微观结构及其生长机制研究被引量：1
《电子显微学报》2012年第6期486-492,共7页何俊明 周艺 丁莹 李骏驰 陈江华 刘明 马春蕊 陈充林 
国家自然科学基金资助项目(No.21171027)
采用脉冲激光沉积方法,在氧化镁(MgO)单晶的(001)晶面上制备出钛酸钡(BaTiO3)/钛酸锶(SrTiO3)多层薄膜。利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)以及高角环形暗场(HAADF)像对其微观结构进行了详细研究,并探讨了多层膜的生长机制。结果表明:(1...
关键词：多层薄膜 柱状生长 微观结构 高分辨透射电子显微镜 
基片温度对反应射频磁控溅射法制备掺杂CeO2电解质薄膜的影响被引量：2
《真空科学与技术学报》2006年第z1期134-139,共6页郝斌魁 姜雪宁 张庆瑜 陈充林 
辽宁省博士启动基金(No.20031071);国家自然科学基金资助项目(No.50502010)
利用Gd/Ce镶嵌复合靶、采用反应射频磁控溅射技术制备了Gd2O3掺杂CeO2(GDC)氧离子导体电解质薄膜,重点探讨了基片温度对薄膜物相结构、沉积速率及生长形貌的影响.分析结果表明,不同温度下制备的薄膜中,立方面心结构GDC固溶体相占主导,...
关键词：反应射频磁控溅射 GDC电解质薄膜 基片温度 X射线衍射 原子力显微镜 
高k栅介质薄膜材料研究进展被引量：2
《真空科学与技术学报》2004年第z1期28-32,共5页马春雨 李智 陈充林 张庆瑜 
国家自然科学基金资助(50240420656)
金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET),要求其器件特征尺寸越来越小,当光刻线宽小于100nm尺度范围后,栅介质氧化物层厚度开始逐渐接近(1～1.5)nm,这时电子的直接隧穿而导致栅极漏电流随栅氧化层厚度的下降而指数上升,此外,当栅氧化...
关键词：高k栅介 质MOSFET CVD PVD 
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