刘从吉

作品数:2被引量:2H指数:1
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供职机构:西南技术物理研究所更多>>
发文主题:硅橡胶光电探测器芯片真空室非晶硅更多>>
发文领域:电子电信化学工程机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊:《集成电路应用》《电子技术(上海)》更多>>
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氢退火工艺对非晶硅光学性能的影响被引量:1
《集成电路应用》2022年第1期43-45,共3页曾璞 罗杰平 刘从吉 罗丹 袁菲 罗辉 王兴伦 王路 钱煜 关晟 
阐述利用等离子化学气相沉积制备了非晶硅材料,然后在不同浓度的氢气气氛下进行了等离子退火处理,并对其折射率,消光系数和傅立叶红外吸收谱进行了测试分析。结果显示,不同浓度的氢气氛等离子退火处理对非晶硅材料的光学性能有影响。
关键词:非晶硅 等离子化学气相沉积 退火 折射率 消光系数 傅立叶红外吸收谱 
硅橡胶对光学系统污染的实验研究被引量:1
《电子技术(上海)》2021年第12期70-71,共2页罗杰平 曾璞 刘从吉 罗丹 袁菲 罗辉 关晟 钱煜 
阐述光谱仪测试光学镜头的透过率,以及傅立叶红外光谱FTIR测试吸收光谱的方法,分别对采用硅橡胶粘接的光学镜头在常温环境、高温环境的镜片上污染物进行测试和分析。
关键词:光谱仪 FTIR测试 实验测试 
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