史佳新

作品数：3被引量：9H指数：1
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供职机构：北京工业大学固体微结构与性能研究所更多>>
发文主题：非导电材料绝缘材料扫描电子显微镜扫描电镜荷电效应更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信理学电气工程更多>>
发文期刊：《北京工业大学学报》《真空科学与技术学报》《电子显微学报》更多>>
所获基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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非导电材料元素X-射线显微分析的补偿和校正方法被引量：1
《真空科学与技术学报》2009年第1期102-106,共5页张隐奇 吉元 王丽 卫斌 戴琳 史佳新 张虹 
北京市教委基金项目(No.KN200610005030)资助
本文分析了在环境扫描电镜中,Al2O3等非导电陶瓷样品的荷电效应和环境压力对X-射线能谱仪(EDS)元素分析造成的影响。研究了相应的补偿和校正方法。在高真空模式下,荷电效应使氧含量明显增加。采用低真空模式(LV)消除了荷电效应和减小了...
关键词：环境扫描电镜(ESEM) X-射线能量分散谱(EDS) 荷电效应 非导电陶瓷 
非导电样品荷电效应的吸收电流评价方法被引量：8
《电子显微学报》2004年第3期265-268,共4页吉元 张虹 史佳新 何焱 吕长志 徐学东 张隐奇 郭汉生 
在扫描电镜(SEM)中,通过记录和实时处理电子束辐照样品过程中产生的吸收电流Ia,评价非导电样品的荷电效应。对于非导电样品,Ia的绝对值很小,且变化幅度很大,这是电荷在非导电样品表面被捕获、积累和释放过程的直接反映。此外,Ia还可用...
关键词：扫描电镜 荷电效应 吸收电流 非导电材料 荷电补偿 
氧环境扫描电镜对氧化物的荷电补偿被引量：1
《北京工业大学学报》2003年第2期247-250,共4页史佳新 吉元 徐学东 肖卫强 张隐奇 郭汉生 
国家自然科学基金(60171024)
在(5×10^(-3))～(2×10^(-2))Pa的氧环境扫描电镜(SEM)中观察到由入射电子束辐照引起的Al_2O_3、SiO_2等氧化物荷电现象得以减轻。氧化物受激氧解吸,使样品表面的氧空位成为荷电势阱而产生荷电。通过氧气氛中提供的氧离子对表面缺陷的...
关键词：氧环境 扫描电镜 氧化物 荷电补偿 二次电子像 绝缘材料 
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