云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 唐武

唐武: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：电子科技大学更多>>; 发文主题：高电子迁移率晶体管势垒微电子技术正极材料碱金属离子更多>>; 发文领域：电气工程理学自动化与计算机技术更多>>; 发文期刊：《凝聚态物理学进展》更多>>; 所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”四川省杰出青年科技基金国家自然科学基金四川省青年科技基金更多>>

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氧气通量对反应溅射法制备HfO2薄膜生长过程的影响被引量：1: 《凝聚态物理学进展》2013年第1期12-16,共5页杨宇桐唐武; 国家自然科学基金资助(No. 51071038);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-09-0265);四川省杰出青年科技基金支持项目(2010JQ0002)。; 利用金属Hf与氧气反应溅射制备了HfO2薄膜,采用X射线光电子能谱分析(XPS)、原子力显微镜(AFM)等手段对薄膜的组成成分以及表面形貌进行了分析表征,并从薄膜生长机理角度研究了氧气的通量对于HfO2成膜过程的影响,得到了氧气通量的增大能...; 关键词：HFO2薄膜射频磁控反应溅射 XPS AFM