常文博

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供职机构：北京工业大学更多>>
发文主题：药物输送高频脉冲电源线圈污染来源微型无阀泵更多>>
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一种用于微喷的感应加热器设计与仿真
《传感器与微系统》2011年第12期109-111,118,共4页常文博 李德胜 刘本东 
教育部博士点基金资助项目(20101103120002)
提出了一种用于热微喷头的感应加热器新结构。进行了相关的结构和工艺设计,在MEMS工艺环境下制作出了可以非接触加热,工艺结构简单,使用寿命长的微感应加热器。使用ANSYS对微感应加热器进行了建模和仿真分析,结果显示:感应加热器的最大...
关键词：微加热器 感应加热 微机电系统 微喷嘴 ANSYS 
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