梁博

作品数:1被引量:19H指数:1
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供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
发文主题:化学气相沉积法化学气相沉积纳米粉纳米材料碳化硅陶瓷更多>>
发文领域:化学工程更多>>
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化学气相沉积法制备SiC纳米粉被引量:19
《无机材料学报》1996年第3期441-447,共7页梁博 黄政仁 江东亮 谭寿洪 陆忠乾 
"攀登计划"资助
本工作采用二甲基二氯硅烷和氢气为原料,在1100~1400℃温度条件下,通过化学气相沉积制备出了高纯、低氧含量的纳米SiC粉体·实验结果指出,在1100~1300℃;制备得到的粉体颗粒由无定型相和β-SiC微晶组成;...
关键词:化学气相沉积 纳米材料 碳化硅陶瓷 
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