武美伶

作品数：1被引量：7H指数：1
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供职机构：北京航空航天大学更多>>
发文主题：蜡模单晶制备单晶高温合金晶体取向脱蜡更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信电气工程理学更多>>
发文期刊：《功能材料》更多>>
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纳米硅薄膜制备及HIT太阳能电池被引量：7
《功能材料》2007年第10期1741-1744,共4页张心强 张维佳 武美伶 贾士亮 刘浩 李国华 
在较高工作气压（332.5-399Pa）下,采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺制备了优质的本征纳米硅薄膜及掺磷的纳米硅薄膜,并采用X射线衍射（XRD）、拉曼散射（Raman）测试技术对其进行了测试和分析。结果表明纳米硅薄膜的XRD谱中存...
关键词：纳米硅 薄膜 PECVD HIT 太阳能电池 
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