武美伶

作品数:1被引量:7H指数:1
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供职机构:北京航空航天大学更多>>
发文主题:蜡模单晶制备单晶高温合金晶体取向脱蜡更多>>
发文领域:一般工业技术电子电信电气工程理学更多>>
发文期刊:《功能材料》更多>>
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纳米硅薄膜制备及HIT太阳能电池被引量:7
《功能材料》2007年第10期1741-1744,共4页张心强 张维佳 武美伶 贾士亮 刘浩 李国华 
在较高工作气压(332.5-399Pa)下,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺制备了优质的本征纳米硅薄膜及掺磷的纳米硅薄膜,并采用X射线衍射(XRD)、拉曼散射(Raman)测试技术对其进行了测试和分析。结果表明纳米硅薄膜的XRD谱中存...
关键词:纳米硅 薄膜 PECVD HIT 太阳能电池 
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