张心强

作品数：10被引量：30H指数：4
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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：吸气剂介质薄膜PECVD吸气性能脉冲激光沉积更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术理学电气工程更多>>
发文期刊：《功能材料》《稀有金属》《电子元件与材料》《稀有金属材料与工程》更多>>
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Ti-Mo吸气材料注射成形脱脂工艺的研究被引量：4
《功能材料》2014年第2期110-113,118,共5页李洋 张心强 朱君 徐瑶华 崔航 毛昌辉 
国家自然基金青年基金资助项目(51202013)
采用粉末注射成形技术制备 Ti-Mo 合金吸气材料。研究了脱脂工艺对坯体质量、微观结构及其元件性能的影响。讨论了化学脱脂中的溶剂、温度、时间对坯体脱脂率的影响,较优的脱脂溶剂为三氯乙烯,在脱脂温度为50℃、脱脂时间为6 h 条件下,...
关键词：Ti-Mo吸气材料 粉末注射成形 溶剂脱脂 热脱脂 
Ni/Zr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂的吸气性能及Ni作用机理研究被引量：4
《功能材料》2013年第21期3208-3211,共4页田士法 毛昌辉 张心强 朱君 崔航 
国家自然科学基金青年基金资助项目(51202013)
采用磁控溅射的方法制备了带有Ni保护层和Zr-Co-Re(Re代表稀土元素)主体层的堆栈层薄膜吸气剂。通过X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜吸气剂内部O元素的含量分布,研究了薄膜吸气剂中Ni层的防氧化作用和机理。研究表明:(1)Ni/Zr-CoRe堆...
关键词：吸气剂 Ni保护层 薄膜 吸气性能 
ZrCoRE薄膜的结构调控与吸气性能研究被引量：2
《稀有金属材料与工程》2013年第9期1889-1892,共4页卜继国 毛昌辉 张艳 张心强 尉秀英 杜军 
运用扫描电镜、扫描原子探针、X射线衍射仪和动态法分析了高硼硅玻璃表面改性对ZrCoRE薄膜结构和吸气性能的影响。结果表明,ZrCoRE薄膜的纳米组织受衬底表面的影响较大,其表面粗糙度和结构无序度随衬底粗糙度增加而增大;经300℃激活30 ...
关键词：ZrCoRE 吸气薄膜 射频磁控溅射 结构调控 吸气性能 
非晶La_2O_3薄膜的阻变存储性能研究
《稀有金属》2012年第4期574-577,共4页赵鸿滨 屠海令 杜军 张心强 
国家自然科学基金重点项目(50932001);国家重大科技专项02专项(2009ZX02039-005)资助
采用脉冲激光技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上沉积了非晶La2O3薄膜,制作并分析了Pt/La2O3/Pt堆栈层的直流电压与脉冲电压诱导的电阻转变特性。Pt/La2O3/Pt器件单元表现出了稳定的双极性电阻转变,其高低阻态比大于两个数量级。经过大于1.8×1...
关键词：氧化镧 电阻转变 非易失性 脉冲激光沉积 
Gd_2O_3-HfO_2栅介质薄膜的外延制备及Ge-MOS电学特性分析被引量：1
《稀有金属》2012年第3期405-409,共5页张心强 屠海令 杜军 杨萌萌 赵鸿滨 杨志民 
国家自然科学基金重点基金(50932001);国家自然科学基金青年科学基金(51102020);国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11076005);国家重大科技专项02专项(2009ZX02039-005)
以Gd2O3-HfO2(GDH)固溶氧化物作为靶材,采用脉冲激光沉积技术(PLD)在Ge(100)衬底上制备了GDH高k栅介质外延薄膜,其外延生长方式为"cube-on-cube",GDH薄膜与Ge(100)衬底的取向关系为(100)GDH∥(100)Ge和[110]GDH∥[110]Ge。通过反射式高...
关键词：GD2O3 HFO2 Ge 外延 激光脉冲沉积 高k 
Al_2O_3界面钝化与热处理对Gd_2O_3-HfO_2高k薄膜电性能影响
《稀有金属》2012年第3期415-418,共4页郭亿文 张心强 熊玉华 杜军 杨萌萌 赵鸿滨 
国家自然重点基金(50932001);国家重大科技专项02专项(2009ZX02039-005);国家自然科学基金(50932001,51102020)
采用磁控溅射技术在p-Si(100)衬底上生长了Gd2O3掺杂HfO2(GDH)高k薄膜,制备了GDH/Si和GDH/Al2O3/Si两种堆栈层。结果表明Al2O3界面钝化使漏电流密度降低了两个数量级,并改善了回滞窗口和平带电压的偏移。高温N2退火对堆栈层电学性能影...
关键词：AL2O3 Gd2O3-HfO2 堆栈层 磁控溅射 快速退火 
CeO_2掺杂对HfO_2栅介质电学特性的影响被引量：6
《稀有金属》2012年第2期292-296,共5页杨萌萌 屠海令 张心强 熊玉华 王小娜 杜军 
国家重点基金(50932001);国家重大科技专项02专项(2009zx02039-005)资助项目
采用磁控共溅射的方法在p-Si(100)衬底上沉积了掺杂和不掺杂CeO2的HfO2薄膜。通过X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜中元素的化学计量比及结合能,制备MOS结构并对漏电流及电容等电学性能进行表征。结果表明,掺入CeO2后,整个体系的氧空位...
关键词：CEO2 HFO2 掺杂 氧空位 高k 
Si(100)衬底上CeO_2薄膜的脉冲激光制备及性能研究被引量：3
《稀有金属》2011年第5期709-714,共6页陈勇 杨志民 张心强 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11076005)
用CeO2陶瓷靶材,使用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上制备了CeO2薄膜。研究了衬底温度、沉积氧压对薄膜性能的影响,实验制备出了高度(111)取向的CeO2薄膜。使用X射线衍射(XRD)、反射式高能电子衍射(RHEED)对薄膜进行晶体结构的表...
关键词：CEO2 薄膜 脉冲激光沉积(PLD) 
纳米硅薄膜太阳能电池的绒面结构研究被引量：4
《电子元件与材料》2009年第3期30-34,共5页贾士亮 张维佳 刘浩 张心强 郭卫 吴倞 
国家"863"计划资助项目(No.2008AA05Z424)
通过对比NaOH/乙二醇和NaOH/异丙醇两种体系的优劣,进行不同腐蚀时间和温度下的绒面制备试验,得到了优化的绒面制备工艺和绒面纳米硅薄膜太阳能电池。结果表明:衬底具有完整规则的"金字塔"结构,反射率为11.02%。制备的绒面纳米硅薄膜太...
关键词：太阳能电池 绒面 单晶硅 纳米硅薄膜 PECVD 
纳米硅薄膜制备及HIT太阳能电池被引量：7
《功能材料》2007年第10期1741-1744,共4页张心强 张维佳 武美伶 贾士亮 刘浩 李国华 
在较高工作气压（332.5-399Pa）下,采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺制备了优质的本征纳米硅薄膜及掺磷的纳米硅薄膜,并采用X射线衍射（XRD）、拉曼散射（Raman）测试技术对其进行了测试和分析。结果表明纳米硅薄膜的XRD谱中存...
关键词：纳米硅 薄膜 PECVD HIT 太阳能电池 
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