云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 纳米硅薄膜

纳米硅薄膜: 作品数：124被引量：280H指数：9; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：何宇亮张维佳林鸿溢韩高荣余明斌更多>>; 相关机构：北京航空航天大学南京大学上海交通大学中国科学院更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划河北省自然科学基金更多>>

高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器的研究被引量：5: 《传感技术学报》2023年第6期839-848,共10页高颖姜岩峰; 国家自然科学基金面上项目(61774078)。; 针对高端领域对高性能微小量程压力传感器的迫切需求,设计并实现了一种应用于电子血压计的高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器,并提出了相应的检测电路。根据小挠度弯曲理论设计了传感器方形敏感薄膜结构,确定了纳米硅薄膜压敏电...; 关键词：SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器检测电路有限元分析(FEA)

硼掺杂纳米硅薄膜的多脉冲激光熔覆数值模拟及实验研究被引量：3: 《红外与激光工程》2021年第10期107-116,共10页洪捐蒯源程鹍张泽新钱峰钱俊陈如龙沈鸿烈; 国家自然科学基金青年科学基金(51805466);江苏省自然科学基金青年基金(BK20181055)。; 为研究多脉冲激光的热累积效应对硼掺杂纳米硅薄膜熔覆过程的影响,采用单温模型,利用三维有限元方法对激光与硅薄膜的相互作用过程中温度场的分布进行了数值模拟,得到了多脉冲激光耦合情况下的温度场变化规律。仿真结果表明:与单脉冲相...; 关键词：硼掺杂纳米硅薄膜激光熔覆多脉冲激光温度场硼扩散

纳米硅薄膜厚度对其反射与吸收性能的影响被引量：3: 《江西理工大学学报》2020年第1期90-96,共7页蒋旭苏未安殷超; 国家自然科学基金资助项目(11464016)。; 针对纳米硅薄膜的厚度会影响其反射与吸收性能的问题,采用时域有限差分(FDTD)方法对纳米硅薄膜进行了模拟计算。分析了纳米硅薄膜对入射电磁波的衰减现象,并详细地讨论了纳米硅薄膜的厚度对其反射率、吸收率及其他光学性能的影响。计算...; 关键词：纳米硅薄膜时域有限差分(FDTD) 法布里-珀罗干涉反射与吸收

氮掺入对N型纳米硅薄膜微观结构及光电特性影响（英文）: 《光谱学与光谱分析》2017年第2期629-635,共7页马登浩张维佳罗瑞盈刘承月蒋昭毅马晓波范志强; The National Natural Science Foundation Project(51572008); 采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)通过改变NH_3流量制备出不同含氮量N型富硅氮化硅硅薄膜。利用Raman散射、红外吸收、紫外-可见光分光光度计及暗态I-V测量等技术分析了氮掺入对薄膜微观结构以及光电特性的影响。结果显示,随着N...; 关键词：氮掺入拉曼光谱傅里叶红外光谱光吸收谱

Boron doped nanocrystalline silicon film characterization for solar cell application被引量：1: 《Science China Materials》2015年第9期704-708,共5页宋超王祥宋捷林圳旭张毅郭艳青黄锐; supported by the National Natural Science Foundation of China(61306003 and 61274140); Lightly doped hydrogenated amorphous silicon thin films were deposited through the plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) technique using a gas mixture of Si H4, B2H6,and H2 as the precursor. By using therma...; 关键词：纳米硅薄膜 SI 硼掺杂

缺陷态密度对纳米硅太阳能电池的影响: 《硅酸盐通报》2015年第S1期22-26,共5页余水平叶懿尉王格郝会颖; 运用美国宾州大学发展的AMPS-1D程序模拟了P-I-N结构的纳米硅薄膜太阳电池中I层、P-I界面、N-I界面的缺陷态密度对电池的输出特性的影响。结果表明,在其他参数保持不变的情况下,随着I层缺陷态密度的增大,I层的最佳厚度逐渐减小,且效率...; 关键词：缺陷态密度纳米硅薄膜太阳能电池计算机模拟

大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发被引量：1: 《太阳能学报》2015年第5期1268-1273,共6页蓝仕虎赵辉杨娜曲铭浩胡安红张迎春赵颖张晓丹汪涛樊正海王建强张津岩徐希翔; 国家高技术研究发展(863)计划(2013AA050301); 该文工作主要集中在用于制备非晶硅和纳米硅薄膜太阳电池的多腔室、大面积等离子体沉积系统的研发。在制备工艺方面,系统研究沉积压力、电极间距、射频电源功率等参数对薄膜沉积速率、膜厚的非均匀性、晶化率的影响;在硬件设计方面,对...; 关键词：薄膜太阳电池纳米硅薄膜大面积均匀性高沉积速率气盒

nc-Si/c-Si异质结太阳电池优化设计分析被引量：3: 《太阳能学报》2014年第9期1561-1567,共7页曾祥斌鲜映霞文西兴廖武刚; 国家自然科学基金(51472096);中央高校基础科研基金(2014NY004);教育部支撑技术项目(62501040202); 分析影响p+(nc-Si)/i(a-Si)/n(c-Si)异质结太阳电池性能的主要因素,获得纳米硅薄膜杂质浓度、本征层厚度以及背场对电池性能的影响规律。结果表明,当纳米硅薄膜中掺杂浓度增大时,该层大部分区域电场强度变大,短路电流和开路电压增大,有...; 关键词：纳米硅薄膜异质结太阳电池 AMPS 优化设计

SOI基纳米硅薄膜超微压压力传感器研究被引量：6: 《电子测量与仪器学报》2013年第12期1107-1113,共7页许高斌李凌宇陈兴马渊明; 国家“863”计划(2013AA041101)资助项目;安徽省科技攻关计划(10120106005)资助项目; 设计分析了一种SOI基纳米硅薄膜的压阻式压力传感器，构建SOI埋层氧化层、SOI上层硅和A1N绝缘层多层压力敏感薄膜结构。利用纳米硅薄膜作为压敏电阻，AIN薄膜作为绝缘层，埋层氧化层自停止腐蚀制作压力空腔。该传感器的制备工艺简单，...; 关键词：SOI 纳米硅薄膜超微压压力传感器

掺硼和掺磷的氢化纳米硅薄膜及其应用于类叠层太阳电池的研究: 《表面技术》2013年第3期5-8,共4页孙月峰张维佳宋登元刘嘉张雷马强吴然嵩张冷; 863计划资助项目(2012AA050304); 采用射频等离子体增强化学气相沉积法,制备了掺硼和掺磷的氢化纳米硅薄膜(nc-Si∶H),并将其应用于纳米硅薄膜类叠层太阳电池中。分析了薄膜样品的光学性能及表面形貌,结果表明:P型掺硼纳米硅薄膜的光学带隙为2.189 eV,电导率为8.01 S/cm...; 关键词：RF-PECVD 掺硼掺磷纳米硅薄膜类叠层太阳电池

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