谢婧

作品数：1被引量：18H指数：1
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供职机构：四川大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：ZNS薄膜溅射法制备多晶薄膜射频磁控溅射射频磁控更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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射频磁控溅射法制备ZnS多晶薄膜及其性质被引量：18
《物理学报》2010年第8期5749-5754,共6页谢婧 黎兵 李愿杰 颜璞 冯良桓 蔡亚平 郑家贵 张静全 李卫 武莉莉 雷智 曾广根 
国家自然科学基金(批准号:60506004);国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA513010)资助的课题~~
实验采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积了ZnS多晶薄膜,研究了沉积气压、退火温度和衬底温度对ZnS薄膜质量的影响.利用X射线衍射(XRD)分析了薄膜的微结构,并计算了内应力值.通过紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透过谱,计算了Urbach...
关键词：ZNS薄膜 射频磁控溅射 内应力 
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