韩盛浩

作品数：1被引量：8H指数：1
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供职机构：山东大学物理学院更多>>
发文主题：AZO薄膜光电性质柔性衬底更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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偏压磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO:Al透明导电膜被引量：8
《曲阜师范大学学报（自然科学版）》2002年第4期59-63,共5页杨田林 高绪团 韩盛浩 
国家自然基金资助课题 (60 1760 2 1)
用射频偏压磁控溅射法 ,在水冷透明聚脂胶片上制备出了附着力强的ZnO :Al (AluminiumdopedZincOxide ,AZO)透明导电膜 ,膜的最小电阻率为 1.11× 10 -3 Ωcm ,薄膜的透过率高于 85 % .薄膜为多晶纤锌矿结构 ,垂直于衬底的C轴具有 [0 0 ...
关键词：偏压磁控溅射法 柔性衬底 制备 ZnO:A1透明导电膜 光电性质 AZO薄膜 负偏压 
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