黄鑫华

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院研究生院更多>>
发文主题：变焦距沙漏掩膜光刻胶单晶硅片更多>>
发文领域：机械工程理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《物理学报》《核技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜被引量：1
《物理学报》2009年第3期1526-1530,共5页朱艳青 梁静秋 梁中翥 黄鑫华 乐孜纯 伊福廷 侯凤杰 黄万霞 董文 王维彪 王志立 崔乃迪 
国家自然科学基金(批准号:60672014);北京正负电子对撞机国家实验室用户项目资助的课题~~
在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线...
关键词：组合折射透镜 背面曝光 沙漏状 SU-8 
折射型X射线组合透镜研制进展被引量：2
《核技术》2008年第3期165-169,共5页梁静秋 黄鑫华 乐孜纯 梁中翥 
国家自然科学基金资助项目(10174079);北京正负电子对撞机国家实验室、中国科学技术大学国家同步辐射实验室用户课题资助
折射型X射线聚焦组合透镜(XCRLs)是一种利用折射效应对X射线聚焦成像的新型光学元件。本文从制作材料和结构设计两方面,系统介绍了目前X射线折射聚焦组合透镜在国内外的发展状况及其主要的应用领域。
关键词：XCRLs X射线微束 折射聚焦 
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