王卫国

作品数：4被引量：30H指数：3
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供职机构：大连理工大学等离子体物理化学实验室更多>>
发文主题：介质阻挡放电发射光谱氢等离子体大气压介质阻挡放电放电频率更多>>
发文领域：理学医药卫生更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《大连理工大学学报》《物理学报》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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介质阻挡放电等离子体中HO_2自由基的红外光腔衰荡光谱原位诊断被引量：3
《真空科学与技术学报》2007年第6期535-539,共5页刘忠伟 徐勇 杨学锋 赵国利 王卫国 朱爱民 
国家自然科学基金(No.10475015)资助课题
建立了一套以可调谐半导体激光器做光源的连续波光腔衰荡光谱装置,简单介绍了连续波光腔衰荡光谱技术与脉冲光腔衰荡光谱技术的区别。将连续波光腔衰荡光谱技术与介质阻挡放电等离子体技术相结合,对等离子体中的HO2自由基进行了原位定...
关键词：光腔衰荡光谱(CRDS) 红外光谱 HO2 
介质阻挡放电氢等离子体中氢原子浓度的光谱诊断被引量：7
《光谱学与光谱分析》2006年第9期1589-1593,共5页王卫国 徐勇 刘忠伟 朱爱民 王文春 
国家自然科学基金(10474009;10475015)资助项目
在化学气相沉积功能材料等离子体刻蚀及表面处理等过程中,氢原子起着非常重要的作用。文章详细论述了利用发射光谱技术诊断氢原子的基本原理,以氩气作为内标对介质阻挡放电氢等离子体中的氢原子浓度进行了定量的诊断,研究了氢原子浓度...
关键词：氢原子浓度 内标法 发射光谱 介质阻挡放电 等离子体诊断 
CH_4或CH_4+Ar介质阻挡放电中的离子能量和类金刚石膜制备被引量：10
《物理学报》2006年第3期1458-1463,共6页刘艳红 张家良 王卫国 李建 刘东平 马腾才 
国家自然科学基金(批准号:50002002)资助的课题.~~
实验上,利用纯CH4及CH4+Ar在几百帕量级气压下的介质阻挡放电制备类金刚石膜,研究了气压p与放电间隙d乘积(pd值)以及Ar的体积百分比RAr对膜硬度的影响.理论上,从离子与气体分子的双体碰撞出发,利用较高折合电场强度E/n(电场强度与粒子...
关键词：离子能量 介质阻挡放电 类金刚石膜 
氮气大气压介质阻挡放电发射光谱诊断被引量：12
《大连理工大学学报》2004年第5期625-629,共5页肖重发 徐勇 王文春 王卫国 朱爱民 
国家自然科学基金资助项目(10075011).
用发射光谱法对氮气大气压介质阻挡放电等离子体进行了诊断,测出了N2(C3Пu-B3Пg)的337.1nm谱线强度随气体流量、电极间距、放电电压以及放电频率的变化规律.发现光强在气体流量为300mL/min或电极间距为1.5mm时有一个最大值;光强随放...
关键词：介质阻挡放电 微放电 发射光谱 光强 谱线强度 放电电压 李萨如图形 诊断 放电频率 突变 
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