陈彤

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供职机构：电子科技大学更多>>
发文主题：氧化钛氧化钛薄膜FESEMTCR非制冷红外探测器更多>>
发文领域：理学文化科学电子电信更多>>
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非晶氧化钛薄膜的电学特性研究
《半导体光电》2012年第5期676-679,共4页居勇峰 陈彤 吴志明 蒋亚东 
国家自然科学基金项目(60736005)
室温下,通过采用直流反应磁控溅射法在覆盖有氮化硅薄膜的单晶硅衬底上生长了厚度约为100nm的氧化钛薄膜。掠入射X射线衍射分析结果表明在室温下,不同氧分压下生长的氧化钛薄膜均具有非晶结构。分别采用场发射扫描电子显微镜、X射线光...
关键词：反应溅射 TCR 非晶氧化钛 FESEM 
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