韩培

作品数:1被引量:5H指数:1
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供职机构:南京大学更多>>
发文主题:尺寸可控非晶硅激光辐照纳米硅更多>>
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尺寸可控的纳米硅的生长模型和实验验证被引量:5
《物理学报》2006年第10期5403-5408,共6页刘艳松 陈铠 乔峰 黄信凡 韩培 高钱波 马忠元 李伟 徐骏 陈坤基 
国家自然科学基金(批准号:60471021;90301009;60508009);国家重点基础研究发展规划(批准号:2001CB610503);中国科学院微系统和信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室开放课题资助项目.~~
基于经典热力学理论,对a-SiNx/a-Si:H/a-SiNx三明治结构或a-Si:H/a-SiNx多层膜结构中纳米硅成核,以及从球形到鼓形的生长过程进行了研究.建立了限制性晶化理论模型:在纳米硅生长过程中,由于界面能增大将导致生长停止,给出限制性晶化条...
关键词:非晶硅 纳米硅 激光辐照 结晶 
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