刘艳松

作品数：2被引量：5H指数：1
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供职机构：南京大学更多>>
发文主题：纳米硅尺寸可控非晶硅激光辐照发光特性更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《物理学报》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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激光诱导单层纳米硅结构的形成及其发光特性
《Journal of Semiconductors》2006年第6期1016-1020,共5页岑展鸿 徐骏 李鑫 李伟 陈三 刘艳松 黄信凡 陈坤基 
国家自然科学基金资助项目(批准号:10374049;60425414;50472066)~~
结合激光退火与常规热退火方法对超薄非晶硅层作用,在绝缘衬底上获得了高密度的、均匀的单层纳米硅结构.所得样品通过原子力显微镜、透射电子显微镜和Raman散射谱进行表征,证实了晶化过程的发生和纳米硅晶粒的形成.在得到的5nm厚晶化样...
关键词：纳米硅 激光晶化 光致发光 
尺寸可控的纳米硅的生长模型和实验验证被引量：5
《物理学报》2006年第10期5403-5408,共6页刘艳松 陈铠 乔峰 黄信凡 韩培 高钱波 马忠元 李伟 徐骏 陈坤基 
国家自然科学基金(批准号:60471021;90301009;60508009);国家重点基础研究发展规划(批准号:2001CB610503);中国科学院微系统和信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室开放课题资助项目.~~
基于经典热力学理论,对a-SiNx/a-Si:H/a-SiNx三明治结构或a-Si:H/a-SiNx多层膜结构中纳米硅成核,以及从球形到鼓形的生长过程进行了研究.建立了限制性晶化理论模型:在纳米硅生长过程中,由于界面能增大将导致生长停止,给出限制性晶化条...
关键词：非晶硅 纳米硅 激光辐照 结晶 
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