马红梅

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：吉林大学材料科学与工程学院超硬材料国家重点实验室更多>>
发文主题：场发射特性氮化铝薄膜厚度更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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氮化铝薄膜的厚度对场发射特性的影响被引量：3
《液晶与显示》2006年第4期379-383,共5页李英爱 刘立华 何志 杨大鹏 马红梅 赵永年 
采用射频磁控溅射方法，在n型（100）Si基底上沉积了不同厚度（20～150nm）纤锌矿结构的纳米A1N薄膜。在超高真空系统中测量了不同膜厚样品的场发射特性，发现阈值电场随着厚度的增加有增大的趋势。厚度为44nm的A1N薄膜样品具有最低的...
关键词：氮化铝薄膜 场发射特性 厚度 
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