孙宏

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：IBADTIN膜离子束增强沉积显微硬度P更多>>
发文领域：金属学及工艺化学工程更多>>
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等离子体浸没式离子注入-离子束增强沉积TiN膜研究被引量：1
《材料开发与应用》2003年第5期17-20,共4页王钧石 柳襄怀 黄楠 孙宏 王良辉 
中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室应用基础研究基金(10002)
本文采用一种新型的等离子体浸没式离子注入 离子束增强沉积的技术(PIII IBAD),在Cr12MoV钢基体上制备出了TiN膜,对沉积膜的组织进行了光电子能谱分析,并对沉积膜进行了硬度检测、摩擦试验及磨痕形貌分析。试验结果表明,沉积膜中的组织...
关键词：等离子体浸没式离子注入-离子束增强沉积(PⅢ-IBAD) TIN膜 显微硬度 摩擦性能 
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