柳襄怀

作品数：101被引量：361H指数：9
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：离子束离子束增强沉积离子束辅助沉积离子注入电子发射更多>>
发文领域：金属学及工艺电子电信一般工业技术理学更多>>
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离子束辅助沉积铂碳混合膜及其抑制栅电子发射性能被引量：1
《功能材料与器件学报》2008年第4期757-762,共6页江炳尧 冯涛 王曦 柳襄怀 
国家自然科学基金资助项目(No.10505027)
采用离子束辅助沉积技术,在硅、钼衬底上分别制备铂碳混合膜。XRD的分析结果表明,当铂碳混合膜中铂的组份较多时,有较强的铂(111)面衍射峰和较弱的铂(200)面衍射峰,铂的组份呈(111)择优取向。Raman谱的分析结果表明,碳基本上呈非晶状态...
关键词：离子束辅助沉积 铂碳混合膜 栅电子发射 
低能Ar离子束辅助沉积Cu、Ag、Pt薄膜
《核技术》2008年第1期10-14,共5页江炳尧 冯涛 任琮欣 柳襄怀 
国家自然科学基金(10505027)资助
采用低能Ar离子束辅助沉积方法,在Mo/Si(100)衬底上分别沉积Cu、Ag、Pt薄膜。实验发现,若辅助轰击的Ar离子束沿衬底法线方向入射,当离子/原子到达比为0.2时,沉积的Cu膜呈(111)晶向,而Ag、Pt膜均呈(111)和(100)混合晶向。当辅助轰击的Ar...
关键词：离子束辅助沉积 Cu AG Pt薄膜 择优取向 
CNT-FED点阵显示器件的研制及其驱动电路设计
《光电子技术》2006年第2期91-93,共3页戴丽娟 冯涛 蒋军 王曦 柳襄怀 李琼 张峰 
上海市纳米专项(0214nm085)
采用丝网印刷技术和等离子体表面处理方法,制备了16×16点阵式碳纳米管场发射显示器件(Carbon N anotube F ield Em ission D isp lay,CNT-FED)。根据CNT-FED的结构特点,研究了CNT-FED的显示驱动原理,设计了以51单片机为控制核心的驱动...
关键词：碳纳米管 场发射显示器 驱动电路 丝网印刷 
HfC涂覆碳纳米管增强场发射性能研究被引量：1
《真空电子技术》2006年第1期48-50,57,共4页蒋军 冯涛 张继华 戴丽娟 程新红 宋朝瑞 王曦 柳襄怀 邹世昌 
利用PECVD方法在硅衬底上生长碳纳米管薄膜,然后采用IBAD方法在薄膜上沉积5 nm的Hf,在高温下退火后在表面形成HfC。研究了经过HfC处理前后碳纳米管膜的场发射性能,结果表明经过HfC处理后碳纳米管膜的场发射性能得到明显改善,并对提高碳...
关键词：碳纳米管 场发射 碳化铪 
可驱动碳纳米管冷阴极数码管的研制
《真空电子技术》2006年第1期30-32,40,共4页冯涛 戴丽娟 蒋军 王曦 柳襄怀 李琼 
上海市纳米专项基金(0214nm085)资助项目
采用印刷技术实现了碳纳米管阴极的大面积、低成本制备,并采用等离子体表面改性技术来提高阴极的发射性能。在此工艺基础上,自行设计和封装了七段显示的碳纳米管冷阴极数码管,配以简单的驱动电路,实现了碳纳米管冷阴极数码管的动态显示。
关键词：碳纳米管 数码管 场发射冷阴极 
镀铂栅极抑制电子发射性能研究被引量：2
《稀有金属材料与工程》2005年第11期1810-1813,共4页蒋军 江炳尧 任琮欣 张福民 冯涛 王曦 柳襄怀 邹世昌 
国家重点基础研究发展规划项目"973"资助(G2000067207-2)
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面上沉积Pt膜,采用试验二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba,BaO蒸发到镀铂栅极和纯钼栅极表面上后的电子发射性能。采用XRD,EDX,XPS等测试手段对其栅极表面进行对比分析和表征。实验结果表明:...
关键词：电子发射 离子束辅助沉积 钼栅极 铂膜 
离子束辅助沉积铪膜抑制栅电子发射性能研究被引量：2
《功能材料》2005年第11期1673-1675,共3页蒋军 江炳尧 郑志宏 任琮欣 冯涛 王曦 柳襄怀 邹世昌 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(G2000067207-2)
利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面沉积铪膜,采用模拟二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba、BaO蒸发在镀铪和纯钼栅极表面的电子发射性能。实验结果表明,镀铪栅极抑制电子发射性能较好,并初步探讨了离子束辅助沉积铪膜抑制栅电...
关键词：抑制电子发射 铪 离子束辅助沉积 钼栅极 
人工心脏瓣膜材料的抗凝血性能和使用安全性研究被引量：2
《中国科学（E辑）》2005年第3期225-241,共17页王向晖 柳襄怀 张峰 李昌荣 俞柳江 郑志宏 王曦 徐静芳 陈安清 蒋振斌 
国家重点基础研究发展规划"973"(批准号: G2000067207-2);上海市科技发展基金重点项目(批准号: 98Jc14015)资助
心脏瓣膜病严重威胁人类健康. 植入人工心脏瓣膜是挽救此类病人生命的可靠途径. 全世界已超过 200 万例植入了热解碳人工心脏瓣膜. 但人工心脏瓣膜植入体内后的凝血问题是国际医学界的一大难题. 本文综述报道用离子束技术对人工心脏瓣...
关键词：人工心脏瓣膜 生物材料 抗凝血性能 安全性 等离子体浸没离子注入技术 离子束辅助沉积 血液相容性 
低能Ar离子束辅助沉积Ag(111)薄膜被引量：1
《核技术》2005年第1期34-39,共6页江炳尧 蒋军 冯涛 任琮欣 张正选 柳襄怀 郑里平 
国家重点基础研究发展规划项目<973>资助(No.G2000067207-2)
采用低能Ar离子束辅助沉积方法,在Mo/Si(100)基底上制备Ag膜。实验发现,用Ar离子束溅射沉积的Ag膜呈(111)择优取向。若在溅射沉积Ag膜的同时,用能量为500eV的Ar离子束沿衬底法线方向对Ag膜进行辅助轰击,当离子/原子到达比为0.06时,Ag膜...
关键词：离子束辅助沉积 Ag膜 沟道效应 择优取向 
C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究
《功能材料信息》2005年第4期28-30,35,共4页吴雪梅 诸葛兰剑 柳襄怀 
国家自然科学基金资助项目(10275047)973重大项目基础研究资助项目(G2000067207-2)
利用双离子束溅射和射频磁控溅射技术在Mo基底上分别制备了C膜和Hf膜,并利用化学方法制备了BaO涂层以模拟行波管栅极结构,随后在N2保护下,通过在900～1300K 范围内退火,研究样品处于高温工作环境下表面相结构和成分的变化,以此解释了C...
关键词：栅发射 C薄膜 Hf薄膜 BAO 
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