张峰

作品数：14被引量：16H指数：2
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：注氧隔离SOI高温退火波导反应离子刻蚀更多>>
发文领域：电子电信医药卫生理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《光电子技术》《半导体光电》《量子电子学报》《光学学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划上海市科学技术发展基金国家重点基础研究发展计划上海市科委纳米专项基金更多>>
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不同栅结构的部分耗尽NMOSFET/SIMOX的总剂量辐照效应研究被引量：1
《功能材料与器件学报》2006年第4期308-312,共5页钱聪 张恩霞 贺威 张正选 张峰 林成鲁 王英民 王小荷 赵桂茹 恩云飞 罗宏伟 师谦 
研究了在改性注氧隔离(SIMOX)材料上制备的具有环栅和H型栅结构的部分耗尽NMOS晶体管在三种不同偏置状态的总剂量辐照效应。实验表明在10keV的X-射线总剂量辐照下,器件的背栅、正栅阈值电压负向漂移和漏电流都控制在较小的水平;在2Mrad(...
关键词：绝缘体上硅(SOI) 总剂量辐照效应 环栅结构 H型栅结构 
CNT-FED点阵显示器件的研制及其驱动电路设计
《光电子技术》2006年第2期91-93,共3页戴丽娟 冯涛 蒋军 王曦 柳襄怀 李琼 张峰 
上海市纳米专项(0214nm085)
采用丝网印刷技术和等离子体表面处理方法,制备了16×16点阵式碳纳米管场发射显示器件(Carbon N anotube F ield Em ission D isp lay,CNT-FED)。根据CNT-FED的结构特点,研究了CNT-FED的显示驱动原理,设计了以51单片机为控制核心的驱动...
关键词：碳纳米管 场发射显示器 驱动电路 丝网印刷 
高浓度弛豫SiGe/SOI材料的制备研究
《苏州科技学院学报（自然科学版）》2006年第1期39-44,共6页程新利 张峰 
对SOI(绝缘体上的硅)衬底上外延生长的SiGe层进行了研究,并利用透射电镜、AES、Raman光谱、X-ray多晶衍射等技术对SiGe/SOI材料做了表征。结果表明:制备的材料中Ge/Si元素分布均匀,SiGe层是高度弛豫的,SiGe层中应变通过产生失配位错被...
关键词：SOI SiGe/SOI 应变 弛豫 
氧化增强注氧隔离工艺制备绝缘体上的硅锗
《功能材料与器件学报》2006年第1期1-4,共4页陈志君 张峰 王永进 金波 陈静 张正选 王曦 
国家863计划资助项目(2001AA312070)
提出一种氧化增强注氧隔离工艺,在退火前氧化得到SiO2层,再进行高温退火得到绝缘体上的硅锗材料。经X射线摇摆曲线和拉曼测试发现所制备的绝缘体上的SiGe材料锗含量没有发生损失,且应变弛豫完全。透射电镜和二次离子质谱分析结果显示样...
关键词：绝缘体上的硅锗 注氧隔离 埋氧 氧化 
氧化对SOI基SiGe薄膜残余应变弛豫的影响
《Journal of Semiconductors》2006年第1期86-90,共5页金波 王曦 陈静 张峰 程新利 陈志君 
研究了氧化对外延在SOI衬底上的Si Ge薄膜的残余应变弛豫过程的影响.通过对Si Ge薄膜采用不同工艺的氧化,从而了解不同氧化条件对SOI基Si Ge薄膜的应变弛豫过程的影响.氧化将会促使Si Ge薄膜中的Ge原子扩散到SOI材料的顶层硅中.而Si Ge...
关键词：氧化 SIGE SOI 应变弛豫 
超紧凑型SOI基3×3 MMI波导光开关的优化设计被引量：2
《半导体光电》2005年第4期294-298,共5页贾晓玲 高凡 张峰 
提出一种基于SOI材料的超紧凑型3×3 MMI波导光开关,开关仅有一个多模波导,且多模波导采用更为紧凑的双曲结构。用FD-BPM方法对其各个状态进行了模拟和分析,并对器件的结构参数进行了优化设计。结果表明,这种光开关可以成功实现任意两...
关键词：多模干涉耦合器 光开关 SOI 区域调制 双曲结构 
新型SOI基3×3多模干涉波导光开关的优化设计被引量：11
《光学学报》2005年第9期1208-1213,共6页贾晓玲 高凡 张峰 
提出了一种基于SOI材料的新型3×3多模干涉(MMI)波导光开关,在开关的多模波导中引入折射率调制区,利用硅的等离子色散效应改变多模波导局部区域的折射率,使得光场在传输过程中的相位发生变化,进而确定输出光场位置,实现开关功能。采用...
关键词：集成光学 多模干涉耦合器 光开关 SOI 全光网络 
人工心脏瓣膜材料的抗凝血性能和使用安全性研究被引量：2
《中国科学（E辑）》2005年第3期225-241,共17页王向晖 柳襄怀 张峰 李昌荣 俞柳江 郑志宏 王曦 徐静芳 陈安清 蒋振斌 
国家重点基础研究发展规划"973"(批准号: G2000067207-2);上海市科技发展基金重点项目(批准号: 98Jc14015)资助
心脏瓣膜病严重威胁人类健康. 植入人工心脏瓣膜是挽救此类病人生命的可靠途径. 全世界已超过 200 万例植入了热解碳人工心脏瓣膜. 但人工心脏瓣膜植入体内后的凝血问题是国际医学界的一大难题. 本文综述报道用离子束技术对人工心脏瓣...
关键词：人工心脏瓣膜 生物材料 抗凝血性能 安全性 等离子体浸没离子注入技术 离子束辅助沉积 血液相容性 
结构紧凑的载流子吸收型光强度调制器及制作方法
《科技开发动态》2004年第6期45-45,共1页林志浪 张峰 王永进 程新利 
关键词：光强度调制器 制作方法 载流子吸收 调制波导 
光波导计算中全矢量-罚项有限元方法新解
《量子电子学报》2004年第5期658-664,共7页曹共柏 林志浪 肖海波 张峰 
数值求解光波导模式的方法,矢量元方法应用比较普遍,能够消除伪模,但由于矢量元的构造和求解过程比较烦琐,而用传统的节点有限元方法求解全矢量波动方程时,在得到物理模式的同时,也出现了伪模。本文在传统的罚项节点有限元方法的启发下...
关键词：纤维与波导光学 有限元方法 罚项 伪模 
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