成龙

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超声技术在半导体行业中应用探讨
《电子工业专用设备》2012年第10期4-5,20,共3页宋伟峰 成龙 刘永进 关宏武 
晶片的洁净程度直接决定了晶片的价值,而晶片最前端工艺就是清洗。现代化超声技术的应用可让晶片更洁净。超声波清洗的功率、频率、尺寸、安装方式的选择都与晶片清洁程度有着密切关系。主要对超声波的原理和频率的选定进行了介绍。
关键词：超声波 兆声波 清洗 
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