才勇

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电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用
《微细加工技术》1993年第4期13-22,共10页王维洁 才勇 王天民 
本文先介绍了类金刚石碳膜的结构特点及电子能量损失谱的原理和分类;然后着重评述了近年来电子能量损失谱在类金刚石碳膜(及有些金刚石膜)结构表征中的应用;同时也讨论了类金刚石碳膜经某些后处理后其能量损失谱的变化特征。
关键词：电子能量损失谱 类金刚石碳膜 结构表征 
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