王云涛

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：复旦大学更多>>
发文主题：P型半导体热蒸发ZNO薄膜醋酸锌氧化锌薄膜更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《复旦学报（自然科学版）》更多>>
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热蒸发分解法制备多晶氧化锌薄膜以及性能分析被引量：2
《复旦学报（自然科学版）》2007年第1期65-69,75,共6页王云涛 张昕 顾小宝 吴晓京 
以Zn(CH3COO)2·2H2O为蒸发源,利用热蒸发分解法在Si衬底上沉积了多晶ZnO薄膜.使用多种分析测试手段(XRD,SEM,PL,霍尔效应)对不同的衬底温度下得到的ZnO薄膜的物理性质及结构特征进行分析表征.ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,但在高角度时可...
关键词：材料科学 ZNO薄膜 P型半导体 热蒸发分解 
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