陈晔

作品数:1被引量:1H指数:1
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单靶磁控溅射制备铜铟硒和铜铟锌硒薄膜及其结构、光学性质研究(英文)被引量:1
《无机材料学报》2014年第11期1223-1227,共5页王伟君 何俊 张克智 陶加华 孙琳 陈晔 杨平雄 褚君浩 
Shanghai Committee of Science and Technology(11ZR1411400,10JC1404600);National Natural Science Foundation of China(61106064,60990312,61076060)
采用单靶磁控溅射法制备了铜铟硒(CIS)和铜铟锌硒(CIZS)薄膜。XRD表征发现CIZS-300出现了与其它薄膜不同的择优取向,分析认为贫铜的状态和适宜温度可能促使薄膜择优取向从(112)向(220)转化;拉曼光谱在171 cm-1处出现的较强峰,和206 cm-...
关键词:磁控溅射 铜铟锌硒 锌掺杂 
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